薄型ウェハー搬送用アルミナ系多孔質セラミック真空チャック
St.Cera社のアルミナ系多孔質チャックは、純度99.6%のAl₂O₃を原料とし、開放気孔率を30～45%に制御し、細孔径を10～50μmに均一に制御しています。溝付きチャックとは異なり、多孔質表面によりウェーハ裏面全体に真空が均一に分布するため、エッジマーキングが発生せず、極薄（100μm以下）ウェーハや反りのあるウェーハも優しく保持できます。この材料は、250MPa以上の曲げ強度と、空気中で400℃までの耐熱性を備えています。
仕様（99.6％アルミニウムに基づく）2O₃):
| 財産 | 価値 |
| 材料 | 99.6%アルミナ（白色） |
| 気孔率 | 30～45％（調整可能） |
| 平均孔径 | 10～50μm |
| 曲げ強度 | ≥250 MPa |
| 密度 | 3.88 g/cm³ |
| 平面度（200mm以上） | ≤5 μm |
| 最大動作温度 | 400℃（空気中） |
| 表面仕上げ | 研磨済み（Ra ≤0.8 μm） |
アプリケーション:
- ・薄型ウェーハ（≤50μm）の裏面研削
- ・ダイシング用の歪んだウェハマウント
- ・個別ダイピックアップ
- ・ガラス基板の取り扱い
製造業:
粉末に気孔形成剤を混合→静水圧プレス→1600℃で焼結→最終厚さまで研磨。各チャックは、真空均一性（圧力偏差＜5%）について流量試験を行い、気孔サイズ分布（SEM）を検査する。
従来型チャックに対する利点：
- ・ウェハ裏面のマーキングやダイのずれがない
- ・最大500μmの反りのあるウェハーを保持します
- ・セルフクリーニング表面（細孔が目詰まりしにくい）
- ・均一な支持により局所的な応力が解消される
Cカスタマイズ:
円形または正方形、直径100～450mm。ゾーン別真空制御用のエッジシールリングもご用意しています。
ご希望のウェハーサイズに対応したサンプルをご請求ください。
