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物理蒸着システム用アルミナPVD絶縁リング
St.Cera社のPVD絶縁リングは、99.8%の高純度アルミナ（Al₂O₃）から製造されており、物理蒸着（PVD）システムで使用されます。このリングはチャンバーコンポーネント間の電気的絶縁を提供し、アーク放電を防ぎ、安定したプラズマ動作を保証します。主な特性としては、高い絶縁耐力（15×10⁶ V/m）、比抵抗>10¹⁴ Ω·mm²/m、および1600℃までの耐熱性が挙げられます。当社の精密加工技術により、外径最大600mm、内径最小0.2mm、平面度0.003mm、表面粗さRa0.1を実現しています。リングは気孔率がゼロで化学的に不活性であるため、過酷なスパッタリング環境でも長期にわたる信頼性を確保します。
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Eガン蒸着システム用アルミナセラミック部品
St.Cera社は、電子ビーム（Eガン）蒸着システム専用に設計された、純度99.8%の高純度アルミナセラミック部品を製造しています。これらの部品には、るつぼライナー、ビーム偏向シールド、絶縁体、および取付治具が含まれます。この材料は、高い絶縁耐力（15×10⁶ V/m）、1600℃までの耐熱性、および蒸着材料からの熱衝撃や化学腐食に対する優れた耐性を備えています。当社の精密加工技術により、最小寸法0.2mm、平面度0.003mm、表面粗さRa0.1の複雑な形状を実現しています。各部品は、寸法精度を確認するために100%三次元測定機（CMM）による検査を受けています。
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ST.CERA社製、99.5%アルミナセラミック製カスタムパーツ
セラミック構造部品とは、様々な複雑な形状のセラミック部品の総称です。高純度セラミック粉末を原料とし、乾式プレスまたは冷間静水圧プレスによって成形後、高温で焼結し、精密機械加工を施します。耐高温性、耐腐食性、耐摩耗性、絶縁性などの特性から、半導体製造装置、光通信、レーザー、医療機器、石油、冶金、電子産業など幅広い分野で利用されています。
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ST.CERA製カスタム99.5%アルミナセラミックローダーアーム
セラミック製エンドエフェクタ／ハンドリングアームは、ウェハ搬送ロボットまたは「エンドエフェクタ」に取り付けられ、シリコンウェハをカセットやプロセスチャンバーに出し入れするために使用されます。
セラミックを使用する利点は、高い曲げ強度によるたわみの低減、高温への耐性、金属汚染や粒子の除去などである。 -
ST.CERA社製、99.5%アルミナセラミック製カスタム部品
高純度セラミック粉末を原料とし、乾式プレスまたは冷間静水圧プレスによって成形後、高温で焼結し、精密加工を施したセラミック部品です。耐高温性、耐腐食性、耐摩耗性、絶縁性などの特性を持ち、半導体製造装置、光通信、レーザー、医療機器、石油、冶金、電子産業など幅広い分野で利用されています。
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精密セラミックアルミナセラミックウェハハンドリングアーム半導体セラミックス
セラミックは、耐高温性、耐腐食性、耐摩耗性、絶縁性といった特性を備えているため、高温、真空、腐食性ガスといった条件下でも、多くの種類の半導体製造装置で長期間使用することができます。
高純度アルミナ粉末を原料とし、冷間静水圧プレス、高温焼結、精密仕上げ加工を施すことで、寸法公差±0.001mm、表面粗さRa 0.1、耐熱温度1600℃を実現しています。
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絶縁アルミナセラミックアーム半導体製造装置部品
ウェーハの搬送中、またはエンドエフェクタ／ハンドリングアームとの接触中に、ベベルや角度のついたエッジ、および裏面から発生する可能性のある粒子を防止する。
ガイド部には、ウェハーを傷つけない柔らかい素材を採用した。
ST.CERAの接着剤を使用しない内蔵型真空チャネル技術により、薄型化が可能になります。
エンドエフェクタ／ハンドリングアームがロボットに取り付けられるベース部分に、取り付け穴を開けたり、ベースの長さや幅を変更したりすることが可能です。
センサーの取り付けに必要なネジやブラケットはオプションでご用意しております。
大気中での使用を想定して設計されています
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精密セラミックアルミナセラミックスの耐高温性
高純度セラミック粉末を原料とし、乾式プレスまたは冷間静水圧プレスで成形後、高温で焼結し、精密加工を施したセラミック管です。耐摩耗性、耐腐食性、高硬度、高靭性、低摩擦係数など多くの利点を持ち、医療機器、精密機械、レーザー、計測機器、検査機器などに幅広く使用されています。酸性およびアルカリ性の環境下でも長時間使用でき、最高使用温度は1600℃に達します。
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高圧・耐摩耗性アルミナセラミックロッドセラミックプランジャー
高純度セラミック粉末を原料とし、乾式プレスまたは冷間静水圧プレスによって成形されたセラミックロッドを、高温下で焼結後、精密加工します。耐摩耗性、耐腐食性、高硬度、高靭性、低摩擦係数など多くの利点を持ち、医療機器、精密機械、レーザー、計測機器、検査機器などに幅広く使用されています。酸性およびアルカリ性の環境下でも長時間使用でき、最高使用温度は1600℃に達します。
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アルミナセラミックシャフトスリーブ、セラミックプランジャー
高純度セラミック粉末から作られ、乾式プレスまたは冷間静水圧プレスによって成形されたセラミックロッドは、高温下で焼結され、その後精密機械加工されます。耐摩耗性、耐腐食性、高硬度、高靭性、低摩擦係数など多くの利点があり、医療機器、精密機械、レーザー、計測機器、検査機器に広く使用されています。酸性およびアルカリ性の条件下で長時間使用でき、最高温度は1600℃まで達します。当社が通常使用するセラミック材料は、ジルコニア、95%～99.9%アルミナ（Al2O3）、窒化ケイ素（Si3N4）、窒化アルミニウム（AlN）などです。
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アルミナセラミック製機械構造部品の優れた性能
セラミック構造部品とは、様々な複雑な形状のセラミック部品の総称です。高純度セラミック粉末を原料とし、乾式プレスまたは冷間静水圧プレスによって成形後、高温で焼結し、精密加工を施します。半導体製造装置、光通信、レーザー、医療機器、石油、冶金、電子産業など、幅広い分野で利用されています。
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アルミナセラミック構造部品 構造部材
セラミック構造部品とは、様々な複雑な形状のセラミック部品の総称です。乾式プレス成形または冷間静水圧プレス成形によって成形され、高温下で焼結された後、精密機械加工されます。
高純度アルミナ粉末を原料とし、冷間静水圧プレス、高温焼結、精密仕上げ加工を施すことで、寸法公差±0.001mm、表面粗さRa 0.1、耐熱温度400℃～800℃を実現しています。
