半導体固定具用高精度アルミナセラミック位置決めロッド
St.Ceraのセラミック位置決めロッドは、純度99.8%の高純度アルミナ（Al₂O₃）を精密研磨して作られています。16 GPaという高い硬度、優れた耐摩耗性、そして寸法安定性を備えています。直径公差は±0.005 mmと非常に厳しく、長さは最大150 mmまで対応可能です。ロッド表面はRa ≤0.2 μmに研磨されており、スムーズな挿入と取り外しが可能です。半導体製造装置、ウェーハカセット、検査装置におけるアライメントピン、ダウエルピン、位置決めストッパーとして使用されます。
仕様（99.8% Al₂O₃に基づく）：
| 財産 | 価値 |
| 材料 | 99.8%アルミナ（アイボリー） |
| 密度 | 3.93 g/cm³ |
| 曲げ強度 | 361 MPa |
| ビッカース硬度 | 16 GPa |
| ヤング率 | 380 GPa |
| 直径範囲 | 1～20 mm |
| 長さ範囲 | 5～150mm |
アプリケーション:
- ・ウェハカセット位置合わせピン
- ・リフトピンガイドブッシュ
- ・治具位置決め用ダボ
- ・プローブカードの位置合わせポスト
鉄鋼に対する利点：
- ・非磁性、耐腐食性
- ・摩耗による粒子発生なし
- ・電気絶縁性（>10¹⁴ Ω·mm²/m）
カスタマイズ:
面取り加工された端部、段差のある直径、ねじ穴、またはカスタムチップ形状。
