-
ウェハ搬送ロボット用高純度アルミナセラミック製エンドエフェクター
St.Ceraのアルミナセラミックエンドエフェクタは、99.8%の高純度Al₂O₃を高度な5軸CNC研削装置で精密加工して作られています。当社の製造能力には、精密研削盤とCNCマシニングセンターが含まれており、複雑な形状を高精度で実現できます。エンドエフェクタは、薄型（最小1.5mm）で、テーパー状の先端部によりスムーズなウェーハ挿入が可能です。この材料は、高い剛性（ヤング率380GPa）、優れた耐摩耗性、および800℃までの耐熱性を備えています。各ユニットは、0.003mmの平面度、0.002mmの平行度、およびRa0.1の表面粗さを実現するように精密研削されており、半導体製造環境において一貫したウェーハ接触と粒子フリーの動作を保証します。長さは150mmから450mmまで、カスタムチップ形状（エッジグリップ、ベルヌーイ、フラット）とOEMロボットに適合する取り付けフランジもご用意しています。表面仕上げのオプションには、ラップ仕上げ、研磨仕上げ、またはESD散逸性コーティング（10⁶～10⁹Ω/sq）が含まれます。
-
ST.CERA社製カスタムアルミナセラミックベルヌーイエンドエフェクター
セラミック製エンドエフェクタ／ハンドリングアームのリーディングカンパニーとして、当社は市場ニーズに応える革新的なエンドエフェクタ／ハンドリングアームを開発しました。ベルヌーイの原理に基づいたこのセラミック製エンドエフェクタ／ハンドリングアームは、最小限の接触で気流を利用してウェハを浮上・搬送することができます。
-
ST.CERA社製カスタムESDセラミックエンドエフェクタ
耐高温性、耐腐食性、耐摩耗性、絶縁性といった特性を持つセラミックは、高温、真空、腐食性ガスといった環境下にある多くの半導体製造装置で長期間使用することができます。
-
ST.CERA社製カスタムアルミナセラミック製グリッピングエンドエフェクター
セラミックは、耐高温性、耐腐食性、耐摩耗性、絶縁性といった特性を備えているため、高温、真空、腐食性ガスといった環境下にある多くの種類の半導体製造装置で長期間使用することができます。
-
ST.CERA社製カスタムアルミナセラミックトレイエンドエフェクター
これは、真空環境下で使用されるトレイ型セラミック製エンドエフェクタ／ハンドリングアームです。
セラミック製エンドエフェクター／ハンドリングアームは、金属製のものと比較して、「耐熱性が高く」、「たわみが少なく」、「軽量」です。
-
ST.CERA社製カスタムアルミナセラミック真空エンドエフェクター
セラミックは、耐高温性、耐腐食性、耐摩耗性、絶縁性といった特性を備えているため、高温、真空、腐食性ガスといった環境下にある多くの種類の半導体製造装置で長期間使用することができます。
-
ST.CERA社製カスタムアルミナセラミックエンドエフェクター
ST.CERAは、高純度アルミナ粉末から作られ、冷間静水圧プレス、高温焼結、精密仕上げ加工されたESDコーティングおよびESDセラミック材料エンドエフェクタを提供しています。寸法公差は±0.001 mm、表面仕上げRa 0.1、耐熱温度1600℃を実現できます。
-
ST.CERA社製カスタムアルミナセラミック真空エンドエフェクター
これは、真空環境下で使用されるトレイ型セラミック製エンドエフェクタ／ハンドリングアームです。
セラミック製エンドエフェクター／ハンドリングアームは、金属製のものと比較して、「耐熱性が高く」、「たわみが少なく」、「軽量」です。
セラミックは、耐高温性、耐腐食性、耐摩耗性、絶縁性といった特性を備えているため、高温、真空、腐食性ガスといった環境下にある多くの種類の半導体製造装置で長期間使用することができます。
高純度アルミナ粉末を原料とし、冷間静水圧プレス、高温焼結、精密仕上げ加工を施すことで、寸法公差±0.001mm、表面粗さRa 0.1、耐熱温度1600℃を実現しています。
-
ST.CERA社製カスタムアルミナセラミックエンドエフェクターウェハハンドリング
ST.CERAは、ESDコーティングを施したESDセラミック素材のエンドエフェクター／ハンドリングアームを提供しています。このエンドエフェクター／ハンドリングアームは、中空チャネルを内蔵しています。当社は、接着剤を使用せずに、一枚の材料内部に真空エアチャネルを形成する技術を専門としています。
汚染物質、ガス放出、粒子発生のリスクはありません。ST.CERAの特殊コーティング技術を採用した真空エンドエフェクター／ハンドリングアームは、電気絶縁性を備えています。また、コーティングなしで電気絶縁性を備えたESDセラミック材料もご提供可能です。
高純度アルミナ粉末を原料とし、冷間静水圧プレス、高温焼結、精密仕上げ加工を施すことで、寸法公差±0.001mm、表面粗さRa 0.1、耐熱温度1600℃を実現しています。 -
アルミナセラミック製エンドエフェクタ半導体製造装置部品
ウェーハの搬送中、またはエンドエフェクタ／ハンドリングアームとの接触中に、ベベルや角度のついたエッジ、および裏面から発生する可能性のある粒子を防止する。
ガイド部には、ウェハーを傷つけない柔らかい素材を採用した。
ST.CERAの接着剤を使用しない内蔵型真空チャネル技術により、薄膜化が可能になります。
エンドエフェクタ／ハンドリングアームがロボットに取り付けられるベース部分に、取り付け穴を開けたり、長さや幅を変更したりすることが可能です。
センサーの取り付けに必要なネジやブラケットはオプションでご用意しております。
大気中での使用を想定して設計されています。
-
St.CeraセラミックエンドエフェクターのカスタムCNC加工
ST.CERAは、中空チャネルを内蔵した真空セラミック製エンドエフェクター／ハンドリングアームを提供しています。当社は、接着剤を使用せずに単一の材料内部に真空エアチャネルを形成する技術を専門としています。
汚染物質、ガス放出、粒子発生のリスクはありません。ST.CERAの真空エンドエフェクター／ハンドリングアームは、内蔵チャンネルを備え、耐久性に優れ、高温環境下でも使用可能です。さらに、不要な組み立て工程を排除することで、製造コストの削減にも貢献します。
高純度アルミナ粉末を原料とし、冷間静水圧プレス、高温焼結、精密仕上げ加工を施すことで、寸法公差±0.001mm、表面粗さRa 0.1、耐熱温度1600℃を実現しています。
-
アルミナ帯電防止セラミックエンドエフェクター
セラミックは、耐高温性、耐腐食性、耐摩耗性、絶縁性といった特性を備えているため、高温、真空、腐食性ガスといった環境下にある多くの種類の半導体製造装置で長期間使用することができます。
高純度アルミナ粉末を原料とし、冷間静水圧プレス、高温焼結、精密仕上げ加工を施すことで、寸法公差±0.001mm、表面粗さRa 0.1、耐熱温度1600℃を実現しています。
