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半導体および産業用治具向け大型アルミナセラミックプレート
St.Cera社は、純度99.8%のアルミナ（Al₂O₃）から、最大寸法1500mm（長さ）×600mm（幅）までの大型セラミックプレートを製造しています。当社の精密研削加工技術により、100mmあたり0.003mmの平面度と0.002mmの平行度を実現し、大面積用途において一貫した表面品質を保証します。厚さは最大100mm、表面粗さはRa0.1まで対応可能です。これらのプレートは、半導体、ディスプレイ、太陽光発電製造において、真空チャックベース、ヒータープラテン、電気絶縁パネル、プロセスチャンバー床などとして使用されています。貫通穴、座ぐり穴、エッジプロファイリング加工も可能です。
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ST.CERA社製カスタム半導体セラミックブッシング
半導体分野における重要なプロセスはクリーンルームで行う必要があり、特に高温、真空、腐食性ガスといった過酷な環境下で使用されるデバイスの場合はなおさらです。セラミックスは、複雑な物理的・化学的環境下でも高い安定性を維持できます。
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ST.CERA社製カスタム半導体製造装置用セラミックチャック
半導体分野における重要なプロセスはクリーンルームで行う必要があり、特に高温、真空、腐食性ガスといった過酷な環境下で使用されるデバイスの場合はなおさらです。セラミックスは、複雑な物理的・化学的環境下でも高い安定性を維持できます。
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ST.CERA社製カスタム半導体製造装置用セラミックプレート
半導体分野における重要なプロセスはクリーンルームで行う必要があり、特に高温、真空、腐食性ガスといった過酷な環境下で使用されるデバイスの場合はなおさらです。セラミックスは、複雑な物理的・化学的環境下でも高い安定性を維持できます。
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ST.CERA社製カスタム半導体セラミックフォーカスリング
半導体分野における重要なプロセスはクリーンルームで行う必要があり、特に高温、真空、腐食性ガスといった過酷な環境下で使用されるデバイスの場合はなおさらです。セラミックスは、複雑な物理的・化学的環境下でも高い安定性を維持できます。
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ST.CERA社製カスタム半導体セラミックフォーカスリング
高純度（99.5%以上）のアルミナセラミックを冷間静水圧プレス成形し、高温で焼結した後、精密機械加工と研磨を施したセラミック製スペアパーツは、耐摩耗性、耐腐食性、低熱膨張性、絶縁性といった特性を備え、半導体製造装置の厳しい要求にも応えることができます。
セラミックは、耐高温性、耐腐食性、耐摩耗性、絶縁性といった特性を備えているため、高温、真空、腐食性ガスといった条件下でも、多くの種類の半導体製造装置で長期間使用することができます。
高純度アルミナ粉末を原料とし、冷間静水圧プレス、高温焼結、精密仕上げ加工を施すことで、寸法公差±0.001mm、表面粗さRa 0.1、耐熱温度1600℃を実現しています。
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ST.CERA社製カスタム半導体精密アルミナセラミックブッシング
高純度（99.5%以上）のアルミナセラミックを冷間静水圧プレス成形し、高温で焼結した後、精密機械加工と研磨を施したセラミック製スペアパーツは、耐摩耗性、耐腐食性、低熱膨張性、絶縁性といった特性を備え、半導体製造装置の厳しい要求にも応えることができます。
セラミックは、耐高温性、耐腐食性、耐摩耗性、絶縁性といった特性を備えているため、高温、真空、腐食性ガスといった条件下でも、多くの種類の半導体製造装置で長期間使用することができます。
高純度アルミナ粉末を原料とし、冷間静水圧プレス、高温焼結、精密仕上げ加工を施すことで、寸法公差±0.001mm、表面粗さRa 0.1、耐熱温度1600℃を実現しています。
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アルミナセラミック製エンドエフェクタ半導体製造装置部品
ウェーハの搬送中、またはエンドエフェクタ／ハンドリングアームとの接触中に、ベベルや角度のついたエッジ、および裏面から発生する可能性のある粒子を防止する。
ガイド部には、ウェハーを傷つけない柔らかい素材を採用した。
ST.CERAの接着剤を使用しない内蔵型真空チャネル技術により、薄型化が可能になります。
エンドエフェクタ／ハンドリングアームがロボットに取り付けられるベース部分に、取り付け穴を開けたり、ベースの長さや幅を変更したりすることが可能です。
センサーの取り付けに必要なネジやブラケットはオプションでご用意しております。
大気中での使用を想定して設計されています。
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耐高温性精密アルミナセラミック構造部品
セラミック構造部品とは、様々な複雑な形状のセラミック部品の総称です。乾式プレス成形または冷間静水圧プレス成形によって成形され、高温下で焼結された後、精密機械加工されます。
高純度アルミナ粉末を原料とし、冷間静水圧プレス、高温焼結、精密仕上げ加工を施すことで、寸法公差±0.001mm、表面粗さRa 0.1、耐熱温度400℃～800℃を実現しています。
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アルミナセラミック構造部品向け高精度・複雑セラミックス
セラミック構造部品とは、様々な複雑な形状のセラミック部品の総称です。乾式プレス成形または冷間静水圧プレス成形によって成形され、高温下で焼結された後、精密機械加工されます。
高純度アルミナ粉末を原料とし、冷間静水圧プレス、高温焼結、精密仕上げ加工を施すことで、寸法公差±0.001mm、表面粗さRa 0.1、耐熱温度400℃～800℃を実現しています。
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アルミナセラミック構造部品の機械設備用スペアパーツ
セラミック構造部品とは、様々な複雑な形状のセラミック部品の総称です。乾式プレス成形または冷間静水圧プレス成形によって成形され、高温下で焼結された後、精密機械加工されます。
高純度アルミナ粉末を原料とし、冷間静水圧プレス、高温焼結、精密仕上げ加工を施すことで、寸法公差±0.001mm、表面粗さRa 0.1、耐熱温度400℃～800℃を実現しています。
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アルミナセラミックストリップ絶縁セラミック構造部品
セラミック構造部品とは、様々な複雑な形状のセラミック部品の総称です。乾式プレス成形または冷間静水圧プレス成形によって成形され、高温下で焼結された後、精密機械加工されます。
高純度アルミナ粉末を原料とし、冷間静水圧プレス、高温焼結、精密仕上げ加工を施すことで、寸法公差±0.001mm、表面粗さRa 0.1、耐熱温度400℃～800℃を実現しています。
