精密なダイシングと研削のためのアルミナ製真空チャック
St.Ceraのアルミナ製真空チャックは、純度99.8%のAl₂O₃を原料とし、精密加工された真空溝を備えています。当社の精密研削技術により、平面度0.003mm、平行度0.002mmを実現し、ダイシング、裏面研削、検査時のウェーハの歪みのない固定を保証します。この材料は、高い曲げ強度（361MPa）、硬度（16GPa）、および800℃までの耐熱性を備えています。外径600mmまでの円形形状と、長さ1500mmまでの長方形形状をご用意しています。真空溝は、特定のプロセス要件に合わせてカスタム設計（同心円状、放射状、または格子状）されます。各チャックはレーザー干渉計で検査され、平面度検証レポートが付属します。
仕様（99.8% Alに基づく）2O₃（St.Ceraの製造能力を含む）：
| 財産 | 価値 |
| 材料 | 99.8%アルミナ（アイボリー） |
| 密度 | 3.93 g/cm³ |
| 曲げ強度 | 361 MPa |
| ビッカース硬度 | 16 GPa |
| 外径（最大） | 600mm |
| 厚さ（最大） | 100mm |
| 長さ（最大） | 1500mm |
| 平坦性 | 0.003mm |
| 並列構造 | 0.002mm |
| 表面仕上げ | Ra0.1 |
| 最大動作温度 | 800℃ |
アプリケーション:
- ・ウェハーのダイシングおよびスクライビング（200mm/300mm以上）
- ・薄型ウェーハの裏面研削
- ・光学検査およびプロービング
- ・大型基板の取り扱い
製造精度：
- ・真直度：0.005mm
- ・垂直度：0.005mm
- ・真円度：0.002mm
- ・同心度：0.01mm
