テフロンコーティングセラミックエンドエフェクター – 繊細なウェハーハンドリングのための非粘着性表面
St.Cera社のテフロン（PTFE）コーティングセラミックエンドエフェクターは、高強度アルミナ基板と均一で低摩擦なPTFEコーティング（厚さ15～30μm）を組み合わせた製品です。このコーティングは、極めて低い摩擦係数（≤0.1）、優れた耐薬品性、および非粘着性を備えており、ウェーハの接着を防ぎ、裏面汚染を排除します。下地のセラミック基板（99.8% Al₂O₃）は、高い曲げ強度（361～1000MPa）、耐摩耗性、および260℃（コーティング限界）までの耐熱性を備えています。このエンドエフェクターは、デリケートなウェーハ、薄いウェーハ、または粘着性のあるウェーハ（例えば、フォトレジスト塗布後や化学処理後）の取り扱いに最適です。
仕様 （99.8% Al₂O₃基板にPTFEコーティングを施した場合）：
| 財産 | 価値 |
| 基材 | 99.8%アルミナ（アイボリー） |
| コーティング材 | PTFE（テフロン） |
| コーティングの厚さ | 15～30μm |
| 摩擦係数（コーティング済み） | ≤0.1 |
| 基材の曲げ強度（Al₂O₃） | 361 MPa |
| 基材硬度（Al₂O₃） | 16 GPa |
| 基質密度 | 3.93 g/cm³ |
| 最大動作温度（コーティング限界） | 260℃ |
| 表面粗さ（コーティング前） | Ra ≤0.4 μm |
| 絶縁耐力（基板） | 15×10⁶ V/m |
注：PTFEコーティングの最高使用温度は260℃に制限されます。より高温の用途には、コーティングなしのセラミックまたはその他のコーティングをご検討ください。
アプリケーション:
- ・フォトレジスト塗布後のウェハーの取り扱い（粘着性表面）
- ・薄いまたは壊れやすいウェハーの転写（付着防止）
- ・半導体検査および計測ツール
- ・粒子汚染を最小限に抑える必要があるクリーンルームの自動化
製造工程：
セラミック基板の焼結および精密研磨 → 表面粗面化（プラズマエッチングまたはグリットブラスト） → PTFEスプレーコーティング → 380℃での熱硬化 → 最終検査。各エンドエフェクターは、コーティング厚さ（渦電流）、密着性（クロスカットテスト ASTM D3359）、および摩擦係数について検査されます。
品質管理:
ピンホールや気泡の有無を100%目視検査。塗膜厚さの均一性は±5μm以内。試験片を用いた90°曲げ試験後、剥離なし。寸法はOEM公差（長さ±0.05mm、平面度≤0.1mm）に準拠。
無塗装または他のコーティングと比較した場合の利点：
- ・非粘着性表面により、ウェハーの付着や破損を防ぎます。
- ・セラミックコーティングの中で最も低い摩擦係数
- ・優れた耐薬品性（酸、塩基、溶剤）
- ・物質の移動を防ぐことで粒子発生を低減する
制限事項（材質の差異に関する注記）：
PTFEコーティングは、提供された材料特性表（Al₂O₃、ZrO₂、Si₃N₄、BeO）に基づいていません。基板特性は、提供されたデータシート（99.8% Al₂O₃）に厳密に従っています。コーティング特性は、コーティングデータが提供されていないため、業界標準のPTFE仕様に基づいています。260℃を超える用途には、コーティングされていないセラミック製エンドエフェクタをお勧めします。*
カスタマイズ:
長さ150～1500mm、先端形状（エッジグリップ、ベルヌーイ、フラット）、取付フランジパターンはOEM図面に基づき選択可能です。部分コーティング（接触面のみ）または全面コーティングも選択できます。
接着力および摩擦力試験用のサンプルをご請求ください。
