300mmウェハ加工用12インチアルミナ真空チャック

St.Cera社の12インチ真空チャックは、300mmウェハのハンドリング用に、純度99.8%の高純度アルミナ（Al₂O₃）から精密に設計されています。チャックの表面には、300mm径全体に均一な真空分布を確保するために、微細な溝（溝幅0.5～1.0mm、ピッチ2～3mm）が施されています。平面度は5μm以内に維持され、ダイシング、裏面研削、検査の際にウェハの反りを防止します。この材料は高い曲げ強度（361MPa）と硬度（16GPa）を備えているため、真空サイクルを繰り返しても長期的な寸法安定性が保証されます。

仕様 （99.8% Al₂O₃に基づく）：

アプリケーション:

・300mmウェハーのダイシングおよびスクライビング
・ウェハ裏面研削（薄型ウェハ支持）
・光学検査およびプロービング
・一時的な接着／剥離チャック

製造業:

CNC研削とラッピングにより最終的な平面度に仕上げ、ダイヤモンド砥石で溝加工を行い、超音波洗浄後、クラス100のクリーンルームで梱包します。各チャックは、平面度（レーザー干渉計）と溝深さ（表面形状計）について100%検査されます。

利点:

・低粒子発生量（0.05粒子/cm²以下）

・溶剤や酸に対して化学的に不活性

・ESD対策済み表面（抵抗率 >10¹³ Ω・cm）

カスタム真空穴パターンおよび背面ポートもご用意可能です。