アルミナベース標準真空チャック – 精密加工のための高剛性
このアルミナ製真空チャックは、99.8%のAl₂O₃から製造されており、滑らかで非多孔質の表面とカスタム真空溝パターンを備えています。優れた剛性（ヤング率380 GPa）と平面度（≤3 μm）を実現し、半導体ウェーハや光学部品の精密研削、ラッピング、ダイシングに最適です。また、材料の高い熱伝導率（32 W/m·k）により、加工中の温度均一性を確保します。
仕様（99.8％アルミニウムに基づく）2O₃):
| 財産 | 価値 |
| 材料 | 99.8%アルミナ（アイボリー） |
| 密度 | 3.93 g/cm³ |
| 曲げ強度 | 361 MPa |
| ビッカース硬度 | 16 GPa |
| ヤング率 | 380 GPa |
| 熱伝導率 | 32 W/m·k |
| 平坦性 | ≤3μm（200mm以上） |
| 表面粗さ（チャック側） | Ra ≤0.4 μm |
| 最大動作温度 | 800℃ |
アプリケーション:
- ・ウェハ裏面研削（粗研削および微研削）
- ・脆性材料の精密ダイシング
- ・セラミック基板のラッピング
- ・光学レンズの研磨
製造業:
両面の精密ラッピング → ダイヤモンド溝加工（オプション） → エッジの丸め加工 → 超音波洗浄 → レーザー干渉計による100%平面度検査。
A利点:
- ・剛性の高い支持構造により、荷重がかかった際のたわみを最小限に抑えます。
- ・多孔質構造からの粒子発生なし
- ・お手入れ簡単（溶剤拭き取り可能）
- ・真空溝はカスタマイズ可能（同心円状、放射状、カスタムパターン）
利用可能なサイズ：
円形：100mm、150mm、200mm、300mm。正方形／長方形はご要望に応じて製作いたします。
より高い機械的強度を実現するために、金属製のバージョンもご用意しております。
