これは、真空環境下で使用されるトレイ型セラミック製エンドエフェクタ／ハンドリングアームです。
セラミック製エンドエフェクター／ハンドリングアームは、金属製のものと比較して、「耐熱性が高く」、「たわみが少なく」、「軽量」です。
セラミックは、耐高温性、耐腐食性、耐摩耗性、絶縁性といった特性を備えているため、高温、真空、腐食性ガスといった環境下にある多くの種類の半導体製造装置で長期間使用することができます。
高純度アルミナ粉末を原料とし、冷間静水圧プレス、高温焼結、精密仕上げ加工を施すことで、寸法公差±0.001mm、表面粗さRa 0.1、耐熱温度1600℃を実現しています。
