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ウェハハンドリング用高純度アルミナセラミック製ロボットアーム
St.Cera社のアルミナセラミック製ロボットアームは、純度99.8%の高純度Al₂O₃（アルミナ）を精密に加工して作られています。優れた曲げ強度（361MPa）、高硬度（16GPa）、低密度（3.93g/cm³）を兼ね備え、半導体ウェハ搬送用の軽量かつ高剛性のアームを実現しています。また、熱膨張係数（7.2×10⁻⁶/℃）はシリコンとほぼ一致するため、加工時の熱膨張率のずれを最小限に抑えることができます。
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ベルヌーイセラミックエンドエフェクタ ― 薄型・脆いウェハーの非接触搬送
St.Cera社のベルヌーイセラミックエンドエフェクタは、空気力学的揚力を利用してウェハーを物理的に接触させることなく搬送します。高純度99.8%アルミナ（Al₂O₃）または炭化ケイ素（SiC）から製造され、精密加工されたノズルから加圧ガスを噴射し、エンドエフェクタとウェハーの間に薄い空気膜を形成します。この非接触方式により、裏面汚染、エッジの欠け、表面損傷が防止され、薄い（≤100 μm）、脆い、または反りのあるウェハーに最適です。セラミック基板は、高い曲げ強度（Al₂O₃で361 MPa、SiCで最大550～600 MPa）、軽量、優れた寸法安定性を備えており、高速ウェハー搬送ロボットでの再現性の高い位置決めを保証します。
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テフロンコーティングセラミックエンドエフェクター – 繊細なウェハーハンドリングのための非粘着性表面
St.Cera社のテフロン（PTFE）コーティングセラミックエンドエフェクターは、高強度アルミナ基板と均一で低摩擦なPTFEコーティング（厚さ15～30μm）を組み合わせた製品です。このコーティングは、極めて低い摩擦係数（≤0.1）、優れた耐薬品性、および非粘着性を備えており、ウェーハの接着を防ぎ、裏面汚染を排除します。下地のセラミック基板（99.8% Al₂O₃）は、高い曲げ強度（361～1000MPa）、耐摩耗性、および260℃（コーティング限界）までの耐熱性を備えています。このエンドエフェクターは、デリケートなウェーハ、薄いウェーハ、または粘着性のあるウェーハ（例えば、フォトレジスト塗布後や化学処理後）の取り扱いに最適です。
