ウェハ搬送ロボット用高純度アルミナセラミック製エンドエフェクター
St.Ceraのアルミナセラミックエンドエフェクタは、99.8%の高純度Al₂O₃を高度な5軸CNC研削装置で精密加工して作られています。当社の製造能力には、精密研削盤とCNCマシニングセンターが含まれており、複雑な形状を高精度で実現できます。エンドエフェクタは、薄型（最小1.5mm）で、テーパー状の先端部によりスムーズなウェーハ挿入が可能です。この材料は、高い剛性（ヤング率380GPa）、優れた耐摩耗性、および800℃までの耐熱性を備えています。各ユニットは、0.003mmの平面度、0.002mmの平行度、およびRa0.1の表面粗さを実現するように精密研削されており、半導体製造環境において一貫したウェーハ接触と粒子フリーの動作を保証します。長さは150mmから450mmまで、カスタムチップ形状（エッジグリップ、ベルヌーイ、フラット）とOEMロボットに適合する取り付けフランジもご用意しています。表面仕上げのオプションには、ラップ仕上げ、研磨仕上げ、またはESD散逸性コーティング（10⁶～10⁹Ω/sq）が含まれます。
仕様（99.8% Alに基づく）2O₃（St.Ceraの製造能力を含む）：
| 財産 | 価値 |
| 材料 | 99.8%アルミナ（アイボリー） |
| 密度 | 3.93 g/cm³ |
| 曲げ強度 | 361 MPa |
| ビッカース硬度 | 16 GPa |
| ヤング率 | 380 GPa |
| 平坦性 | 0.003mm |
| 並列構造 | 0.002mm |
| 表面仕上げ | Ra0.1（研磨済み） |
| 最大動作温度 | 800℃ |
| 長さ範囲 | 150～450mm |
アプリケーション:
- ・真空および大気圧ロボットによるウェハ搬送
- ・200mm/300mmウェハ用FAB自動化エンドエフェクタ
- ・薄型ウェハーの取り扱い（ESDオプション付き）
製造能力：
当社の精密研削盤とCNC加工センターは、以下のような複雑なセラミック部品の製造を可能にします。
- ・最大加工長さ：1500mm
- ・最大外径：600mm
- ・最小内径：0.2mm
- ・最大厚さ：100mm
品質管理:
真直度0.005mm、垂直度0.005mm、真円度0.002mm、平行度0.002mm、同心度0.01mmはCMM（三次元測定機）で検証済みです。各ユニットは超音波洗浄され、クラス100のクリーンルームで梱包されています。
