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ST.CERA社製カスタムアルミナセラミック真空エンドエフェクター

ST.CERA社製カスタムアルミナセラミック真空エンドエフェクター

簡単な説明:

セラミックは、耐高温性、耐腐食性、耐摩耗性、絶縁性といった特性を備えているため、高温、真空、腐食性ガスといった条件下でも、多くの種類の半導体製造装置で長期間使用することができます。


製品詳細

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製品詳細

ST.CERAは、中空チャネルを内蔵した真空セラミック製エンドエフェクター/ハンドリングアームを提供しています。当社は、接着剤を使用せずに単一の材料内部に真空エアチャネルを形成する技術を専門としています。

汚染物質、ガス放出、粒子発生のリスクはありません。ST.CERAの真空エンドエフェクター/ハンドリングアームは、内蔵チャンネルを備え、耐久性に優れ、高温環境下でも使用可能です。さらに、不要な組み立て工程を排除することで、製造コストの削減にも貢献します。

高純度アルミナ粉末を原料とし、冷間静水圧プレス、高温焼結、精密仕上げ加工を施すことで、寸法公差±0.001mm、表面粗さRa 0.1、耐熱温度1600℃を実現しています。

以下に、純度の異なるアルミナセラミックの特性を示します。

製品パラメータ

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製造工程

噴霧造粒 → セラミック粉末 → 成形 → ブランク焼結 → 粗研削 → CNC加工 → 精密研削 → 寸法検査 → 洗浄 → 梱包

特徴

ウェーハの搬送中、またはエンドエフェクタ/ハンドリングアームとの接触中に、ベベルや角度のついたエッジ、および裏面から発生する可能性のある粒子を防止する。
ガイド部には、ウェハーを傷つけない柔らかい素材を採用した。
ST.CERAの接着剤を使用しない内蔵型真空チャネル技術により、薄膜化が可能になります。
エンドエフェクタ/ハンドリングアームがロボットに取り付けられるベース部分に、取り付け穴を開けたり、長さや幅を変更したりすることが可能です。
センサーの取り付けに必要なネジやブラケットはオプションでご用意しております。
大気中での使用を想定して設計されています。

重要な詳細情報

原産地:中国湖南省
材質:アルミナセラミック
HSコード:85471000
供給能力:月間200個
リードタイム:3~4週間
梱包:段ボール箱、発泡スチロール、カートン
その他:カスタマイズサービスをご利用いただけます

当社の強み

プロフェッショナルなオンラインサービスチームが、メールやメッセージに24時間以内に返信いたします。
当社には、いつでもお客様に誠心誠意サービスを提供する強力なチームがあります。
私たちは「お客様第一、従業員の幸福」を信条としています。
品質を最優先事項とする。
純正部品の使用は認められます。
高度な生産設備、厳格な品質検査および管理システムにより、優れた品質を保証します。
競争力のある価格:当社は中国のプロのセラミック部品メーカーであり、中間業者の利益がないため、最も競争力のある価格で製品を提供できます。
高品質:高品質が保証されているため、市場シェアを良好に維持するのに役立ちます。
迅速な納期:当社は自社工場と専門メーカーを擁しているため、商社との交渉にかかる時間を節約できます。お客様のご要望にお応えできるよう最善を尽くします。


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