精密ラッピング用高純度アルミナセラミック研削板
セント・セラズセラミック研磨板精密ラッピングおよび研削用途向けに、純度99.8%の高純度アルミナ(Al₂O₃)から製造されています。当社の精密研削技術により、平面度0.003mm、平行度0.002mm、表面粗さRa0.1を実現し、プレート表面全体にわたって均一な材料除去を保証します。このプレートは、優れた耐摩耗性(ビッカース硬度16GPa)、高い曲げ強度(361MPa)、および800℃までの耐熱性を備えています。直径600mmまでの円形プレートと、長さ1500mmまでの長方形プレートをご用意しています。ラッピング工程でのスラリー分配用に、溝付き表面(溝幅0.5~2.0mm)もご用意しています。各プレートはレーザー干渉計で検査され、精密測定レポートが付属します。
仕様(99.8% Alに基づく)2O₃(St.Ceraの製造能力を含む):
| 財産 | 価値 |
| 材料 | 99.8%アルミナ(アイボリー) |
| 密度 | 3.93 g/cm³ |
| 曲げ強度 | 361 MPa |
| ビッカース硬度 | 16 GPa |
| 外径(最大) | 600mm |
| 長さ(最大) | 1500mm |
| 厚さ(最大) | 100mm |
| 平坦性 | 0.003mm |
| 並列構造 | 0.002mm |
| 表面仕上げ | Ra0.1 |
| 最大動作温度 | 800℃ |
アプリケーション:
- ・セラミック基板および金属シールのラッピング
- ・半導体ウェーハの裏面研削
- ・光学素子の研磨
- ・大型基板のラッピング
精密な機能:
- ・真直度:0.005mm
- ・垂直度:0.005mm
- ・真円度:0.002mm








