高純度アルミナセラミックプレート – 断熱材および高温器具用
St.Cera社のセラミックプレートは、純度99.8%の高純度アルミナ(Al₂O₃)から製造されており、高い絶縁耐力(15×10⁶ V/m)、1600℃までの耐熱性、優れた耐摩耗性を備えています。プレートは精密研磨により、100 mmにわたって平面度5 μm以下、表面粗さRa 0.4 μm以下を実現しています。標準厚さは1 mmから20 mmまで、カスタムサイズは最大500×500 mmまで対応可能です。電気絶縁体、ヒーターベース、チャンバーライナー、真空チャック基板などに使用されます。
仕様(99.8% Al₂O₃に基づく):
| 財産 | 価値 |
| 材料 | 99.8%アルミナ(アイボリー) |
| 密度 | 3.93 g/cm³ |
| 曲げ強度 | 361 MPa |
| 誘電強度 | 15×10⁶ V/m |
| 特定抵抗 | >10¹⁴ Ω·mm²/m |
| 熱伝導率 | 32 W/m·k |
| 熱膨張(25~1000℃) | 7.2×10⁻⁶/℃ |
| 最大動作温度 | 1600℃ |
| 平面度(100mmあたり) | ≤5 μm |
| 厚さ公差 | ±0.05 mm |
| 表面粗さ | Ra ≤0.4 μm |
アプリケーション:
- ・高電圧機器における電気絶縁板
- ・拡散炉のヒーター支持板
- ・CVD/PVD用チャンバーライナー
- ・真空チャック用ベースプレート
利点:
- ・吸水率0% – 真空状態でもガス放出なし
- ・化学的に不活性 – 酸やハロゲン(HFを除く)に対して耐性がある
カスタマイズ:
穴あけ、切り抜き、角丸加工、金属メッキ加工が可能です。








