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高純度アルミナセラミックプレート – 断熱材および高温器具用

高純度アルミナセラミックプレート – 断熱材および高温器具用

簡単な説明:

St.Cera社のセラミックプレートは、純度99.8%の高純度アルミナ(Al₂O₃)から製造されており、高い絶縁耐力(15×10⁶ V/m)、1600℃までの耐熱性、優れた耐摩耗性を備えています。プレートは精密研磨により、100 mmにわたって平面度5 μm以下、表面粗さRa 0.4 μm以下を実現しています。標準厚さは1 mmから20 mmまで、カスタムサイズは最大500×500 mmまで対応可能です。電気絶縁体、ヒーターベース、チャンバーライナー、真空チャック基板などに使用されます。


製品詳細

商品タグ

St.Cera社のセラミックプレートは、純度99.8%の高純度アルミナ(Al₂O₃)から製造されており、高い絶縁耐力(15×10⁶ V/m)、1600℃までの耐熱性、優れた耐摩耗性を備えています。プレートは精密研磨により、100 mmにわたって平面度5 μm以下、表面粗さRa 0.4 μm以下を実現しています。標準厚さは1 mmから20 mmまで、カスタムサイズは最大500×500 mmまで対応可能です。電気絶縁体、ヒーターベース、チャンバーライナー、真空チャック基板などに使用されます。

 

仕様(99.8% Al₂O₃に基づく):

財産 価値
材料 99.8%アルミナ(アイボリー)
密度 3.93 g/cm³
曲げ強度 361 MPa
誘電強度 15×10⁶ V/m
特定抵抗 >10¹⁴ Ω·mm²/m
熱伝導率 32 W/m·k
熱膨張(25~1000℃) 7.2×10⁻⁶/℃
最大動作温度 1600℃
平面度(100mmあたり) ≤5 μm
厚さ公差 ±0.05 mm
表面粗さ Ra ≤0.4 μm

 

アプリケーション:

  • ・高電圧機器における電気絶縁板
  • ・拡散炉のヒーター支持板
  • ・CVD/PVD用チャンバーライナー
  • ・真空チャック用ベースプレート

 

利点:

  • ・吸水率0% – 真空状態でもガス放出なし
  • ・化学的に不活性 – 酸やハロゲン(HFを除く)に対して耐性がある

 

カスタマイズ:

穴あけ、切り抜き、角丸加工、金属メッキ加工が可能です。


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