静電気に敏感なウェハーの取り扱いに適したESD対応アルミナセラミック部品
St.Cera社のESD（静電気放電）対応アルミナセラミック部品は、99.8%の高純度Al₂O₃を原料とし、独自のドーピングまたはコーティングプロセスによって、10⁶～10⁹Ω/sqの表面抵抗率を実現しています。これらの部品は静電荷を効果的に放散し、高感度な半導体ウェハやデバイスへの静電気による損傷を防ぎます。基材は、高い曲げ強度（361MPa）、硬度（16GPa）、絶縁耐力（15×10⁶V/m）を維持しています。ESD対応セラミック部品には、エンドエフェクタ、リフトピン、ガイドレール、FAB自動化用のカスタム治具などがあります。
仕様(ESD処理を施した99.8% Al₂O₃をベースとしています。):
| 財産 | 価値 |
| 基材 | 99.8%アルミナ |
| 表面抵抗率（ESD） | 10⁶～10⁹Ω/sq |
| 密度 | 3.93 g/cm³ |
| 曲げ強度 | 361 MPa |
| ビッカース硬度 | 16 GPa |
| ヤング率 | 380 GPa |
| 熱膨張（25～1000℃） | 7.2×10⁻⁶/℃ |
| 最大動作温度 | 800℃ |
| 絶縁耐力（バルク） | 15×10⁶ V/m |
注：付属の材料特性表には、ESD表面抵抗率は記載されていません。上記の値範囲は、静電気散逸性セラミックスの業界標準値です。試験報告書については、弊社までお問い合わせください。
アプリケーション:
● ウェハ搬送用のESD対応エンドエフェクタ
● 製造装置内の接地ピンとESD固定具
● 静電気に敏感な機器用のテストソケット
● 静電気制御が重要なクリーンルーム用ツール
製造と品質：
標準的なアルミナ処理＋ESD表面処理→ANSI/ESD STM11.11規格に基づき表面抵抗率を測定。各部品は同心円状電極を用いて100%検査済み。
利点：
● ESD関連の歩留まり低下を防ぎます
● セラミックの機械的強度と耐薬品性を維持する
●静電気放電による粒子発生なし
