ST.CERA製カスタム99.5%アルミナセラミックローダーアーム
製品詳細
セラミックは、耐高温性、耐腐食性、耐摩耗性、絶縁性といった特性を備えているため、高温、真空、腐食性ガスといった条件下でも、多くの種類の半導体製造装置で長期間使用することができます。
高純度アルミナ粉末を原料とし、冷間静水圧プレス、高温焼結、精密仕上げ加工を施したセラミック製エンドエフェクターは、寸法公差±0.001mm、表面粗さRa 0.1、耐熱温度1600℃を実現できる。
独自のセラミック接合技術により、キャビティ付きセラミックエンドエフェクタは800℃の高温環境下でも動作可能です。
以下に、純度の異なるアルミナセラミックの特性を示します。
製品パラメータ
株式会社セントセラ
材料データシート
| 物件 | ユニット | アルミナ（Al2O3） | |||
| 99% Al2O3 | 99.5% Al2O3 | 99.8% Al2O3 | 99.9% Al2O3 | ||
| 色 | — | 白 | 象牙 | 象牙 | 象牙 |
| 密度 | g/cm3 | 3.88 | 3.90 | 3.93 | 3.95 |
| 吸水率 | % | 0 | 0 | 0 | 0 |
| 粒度 | μm | 2〜5 | 2〜5 | 2〜5 | 2〜4 |
| 曲げ強度 | MPa | 350 | 360 | 361 | 350 |
| 破壊靭性 | MPa・m1/2 | 3～4 | 3～4 | 3～4 | 3～4 |
| ビッカース硬度 | GPa | 14 | 15.5 | 16 | 16 |
| ヤングの弾性係数 | GPa | 370 | 370 | 380 | 390 |
| 熱伝導率 | W/m・K | 28 | 32 | 32 | 34 |
| 熱膨張係数 | 10⁻⁶/℃ | 7.2 | 7.2 | 7.2 | 7.2 |
| 誘電率 | — | 9.5 | 9.6 | 9.6 | 9.9 |
| 誘電損失角 | — | 0.0001 | 0.0001 | 0.0001 | 0.0001 |
| 誘電強度 | V/m | 15×106 | 15×106 | 15×106 | 15×106 |
| 特定抵抗 | Ω・mm2/m | ﹥ 1014 | ﹥ 1014 | ﹥ 1014 | ﹥ 1014 |
製造工程
噴霧造粒 → セラミック粉末 → 成形 → ブランク焼結 → 粗研削 → CNC加工 → 精密研削 → 寸法検査 → 洗浄・梱包
重要な詳細情報
原産地：中国湖南省
材質：アルミナセラミック
HSコード：85471000
供給能力：月100個
リードタイム：3～4週間
梱包：段ボール箱、発泡スチロール、カートン
その他：カスタマイズサービスをご利用いただけます
