物理蒸着システム用アルミナPVD絶縁リング
St.Cera社のPVD絶縁リングは、99.8%の高純度アルミナ（Al₂O₃）から製造されており、物理蒸着（PVD）システムで使用されます。このリングはチャンバーコンポーネント間の電気的絶縁を提供し、アーク放電を防ぎ、安定したプラズマ動作を保証します。主な特性としては、高い絶縁耐力（15×10⁶ V/m）、比抵抗>10¹⁴ Ω·mm²/m、および1600℃までの耐熱性が挙げられます。当社の精密加工技術により、外径最大600mm、内径最小0.2mm、平面度0.003mm、表面粗さRa0.1を実現しています。リングは気孔率がゼロで化学的に不活性であるため、過酷なスパッタリング環境でも長期にわたる信頼性を確保します。
仕様（99.8% Alに基づく）2O₃（St.Ceraの製造能力を含む）：
| 財産 | 価値 |
| 材料 | 99.8%アルミナ（アイボリー） |
| 密度 | 3.93 g/cm³ |
| 曲げ強度 | 361 MPa |
| ビッカース硬度 | 16 GPa |
| 誘電強度 | 15×10⁶ V/m |
| 特定抵抗 | >10¹⁴ Ω·mm²/m |
| 最大外径 | 600mm |
| 最小内径 | 0.2mm |
| 最大厚さ | 100mm |
| 平坦性 | 0.003mm |
| 並列構造 | 0.002mm |
| 表面仕上げ | Ra0.1 |
| 最大動作温度 | 1600℃ |
アプリケーション:
- ・PVDシステムにおけるターゲットバックプレート絶縁体
- ・チャンバー貫通型絶縁体
- ・スパッタリングシステムにおけるシールドリング絶縁体
- ・プラズマチャンバー内の高電圧絶縁
製造精度：
同心度：0.01mm、真円度：0.002mm、真直度：0.005mm、垂直度：0.005mm（CMMによる検証済み）。
Aポリマー絶縁体に対する利点：
- ・耐熱温度1600℃（ポリマーの耐熱温度は300℃未満）
- ・ガス放出なし – 真空状態を維持
- ・プラズマ侵食および化学攻撃に耐性がある
カスタマイズ:
特注の断面形状、取り付け機構、段差形状、および複数の同心円リングデザインが利用可能です。
