Eガン蒸着システム用アルミナセラミック部品
St.Cera社は、電子ビーム（Eガン）蒸着システム専用に設計された、純度99.8%の高純度アルミナセラミック部品を製造しています。これらの部品には、るつぼライナー、ビーム偏向シールド、絶縁体、および取付治具が含まれます。この材料は、高い絶縁耐力（15×10⁶ V/m）、1600℃までの耐熱性、および蒸着材料からの熱衝撃や化学腐食に対する優れた耐性を備えています。当社の精密加工技術により、最小寸法0.2mm、平面度0.003mm、表面粗さRa0.1の複雑な形状を実現しています。各部品は、寸法精度を確認するために100%三次元測定機（CMM）による検査を受けています。
仕様（99.8% Alに基づく）2O₃（St.Ceraの製造能力を含む）：
| 財産 | 価値 |
| 材料 | 99.8%アルミナ（アイボリー） |
| 密度 | 3.93 g/cm³ |
| 曲げ強度 | 361 MPa |
| ビッカース硬度 | 16 GPa |
| 誘電強度 | 15×10⁶ V/m |
| 特定抵抗 | >10¹⁴ Ω·mm²/m |
| 最大長さ/幅 | 1500mm |
| 最大外径 | 600mm |
| 最小フィーチャーサイズ | 0.2mm |
| 平坦性 | 0.003mm |
| 表面仕上げ | Ra0.1 |
| 最大動作温度 | 1600℃ |
アプリケーション:
- ・電子銃用るつぼライナーおよび蒸発ボート
- ・ビーム偏向シールドおよび開口板
- ・電気絶縁体および貫通部
- ・蒸発源用取り付け治具
製造精度：
真直度：0.005mm、垂直度：0.005mm、真円度：0.002mm、同心度：0.01mm。
利点：
- ・るつぼ材料による薄膜の汚染がない
- ・蒸発時の大きな温度勾配に耐える
- ・長寿命 – グラファイト代替品の5倍の寿命
カスタマイズ:
るつぼの空洞形状、取り付けフランジ、穴パターン、表面仕上げなど、お客様のご要望に合わせたカスタマイズが可能です。
