ウェハハンドリング用高純度アルミナセラミック製ロボットアーム
St.Cera社のアルミナセラミック製ロボットアームは、純度99.8%の高純度Al₂O₃（アルミナ）を精密に加工して作られています。優れた曲げ強度（361MPa）、高硬度（16GPa）、低密度（3.93g/cm³）を兼ね備え、半導体ウェハ搬送用の軽量かつ高剛性のアームを実現しています。また、熱膨張係数（7.2×10⁻⁶/℃）はシリコンとほぼ一致するため、加工時の熱膨張率のずれを最小限に抑えることができます。
仕様 （99.8% Al₂O₃に基づく）：
| 財産 | 価値 |
| 色 | 象牙 |
| 密度 | 3.93 g/cm³ |
| 曲げ強度 | 361 MPa |
| ビッカース硬度 | 16 GPa |
| ヤング率 | 380 GPa |
| 熱伝導率 | 32 W/m·k |
| 熱膨張 | 7.2×10⁻⁶/℃ |
| 誘電強度 | 15×10⁶ V/m |
アプリケーション:
- 真空ウェハ搬送ロボット（200mm/300mm）
- 大気処理システム
- 製造工場自動化用エンドエフェクタアーム
製造工程：
静水圧プレス → グリーン加工 → 1600℃での焼結 → CNC精密研削 → 超音波洗浄 → クラス100クリーンルームでの梱包。各アームは、平面度（±0.01 mm）と表面粗さ（Ra ≤0.4 μm）について、CMMで100%検査されます。
品質管理:
St.CeraはISO 9001:2015認証を取得しています。当社では、微細亀裂を検出するための浸透探傷試験、曲げ強度を測定するための三点曲げ試験、およびASTM D149に準拠した絶縁耐力試験を実施しています。
金属製アームに対する利点：
ステンレス鋼より50％軽量
- ガルバニック腐食なし
- 低粒子発生量（≤0.05粒子/cm²）
- ESD対策コーティングあり（10⁶～10⁹Ω/sq）
カスタマイズ:
長さは150mmから450mmまで、先端形状（エッジグリップ、ベルヌーイ、真空）、取り付けフランジパターンはOEM図面に基づきます。試作品は2週間で製作可能です。
大量注文の場合は、お見積もりをご依頼ください。
