半導体および産業用治具向け大型アルミナセラミックプレート
St.Cera社は、純度99.8%のアルミナ（Al₂O₃）から、最大寸法1500mm（長さ）×600mm（幅）までの大型セラミックプレートを製造しています。当社の精密研削加工技術により、100mmあたり0.003mmの平面度と0.002mmの平行度を実現し、大面積用途において一貫した表面品質を保証します。厚さは最大100mm、表面粗さはRa0.1まで対応可能です。これらのプレートは、半導体、ディスプレイ、太陽光発電製造において、真空チャックベース、ヒータープラテン、電気絶縁パネル、プロセスチャンバー床などとして使用されています。貫通穴、座ぐり穴、エッジプロファイリング加工も可能です。
仕様（99.8% Alに基づく）2O₃（St.Ceraの製造能力を含む）：
| 財産 | 価値 |
| 材料 | 99.8%アルミナ（アイボリー） |
| 密度 | 3.93 g/cm³ |
| 曲げ強度 | 361 MPa |
| ビッカース硬度 | 16 GPa |
| 誘電強度 | 15×10⁶ V/m |
| 最大長さ | 1500mm |
| 最大幅 | 600mm |
| 最大厚さ | 100mm |
| 平面度（100mm当たり） | 0.003mm |
| 並列構造 | 0.002mm |
| 表面仕上げ | Ra0.1（研磨済み） |
| 最大動作温度 | 1600℃ |
アプリケーション:
- ・大型ウェハーおよびパネル用真空チャックベースプレート
- ・熱処理装置用ヒータープレート
- ・高電圧システムにおける電気絶縁パネル
- ・処理室の床面およびライナープレート
製造精度：
真直度：0.005mm、垂直度：0.005mm（レーザー干渉計で検証済み）。
金属板に対する利点：
- ・金属汚染なし – 半導体製造プロセスにとって極めて重要
- ・ガス放出ゼロ – 真空環境に最適
- ・優れた耐摩耗性と耐薬品性
カスタマイズ:
カスタム穴パターン、エッジ形状、段差面、金属メッキされた取り付け面もご用意できます。
