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ST.CERA社製カスタムAlNセラミックプレート、セラミック部品
セラミック構造部品とは、様々な複雑な形状のセラミック部品の総称です。高純度セラミック粉末を原料とし、乾式プレスまたは冷間静水圧プレスによって成形後、高温で焼結し、精密加工を施します。半導体製造装置、光通信、レーザー、医療機器、石油、冶金、電子産業など、幅広い分野で利用されています。
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ST.CERA 特注ジルコニアセラミックプレート セラミック部品
セラミック構造部品とは、様々な複雑な形状のセラミック部品の総称です。乾式プレス成形または冷間静水圧プレス成形によって成形され、高温下で焼結された後、精密機械加工されます。
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ST.CERA社製カスタムアルミナセラミックベルヌーイエンドエフェクター
セラミック製エンドエフェクタ／ハンドリングアームのリーディングカンパニーとして、当社は市場ニーズに応える革新的なエンドエフェクタ／ハンドリングアームを開発しました。ベルヌーイの原理に基づいたこのセラミック製エンドエフェクタ／ハンドリングアームは、最小限の接触で気流を利用してウェハを浮上・搬送することができます。
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ST.CERA社製カスタムESDセラミックエンドエフェクタ
耐高温性、耐腐食性、耐摩耗性、絶縁性といった特性を持つセラミックは、高温、真空、腐食性ガスといった環境下にある多くの半導体製造装置で長期間使用することができます。
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ST.CERA社製カスタムアルミナセラミック製グリッピングエンドエフェクター
セラミックは、耐高温性、耐腐食性、耐摩耗性、絶縁性といった特性を備えているため、高温、真空、腐食性ガスといった環境下にある多くの種類の半導体製造装置で長期間使用することができます。
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ST.CERA社製カスタムアルミナセラミックトレイエンドエフェクター
これは、真空環境下で使用されるトレイ型セラミック製エンドエフェクタ／ハンドリングアームです。
セラミック製エンドエフェクター／ハンドリングアームは、金属製のものと比較して、「耐熱性が高く」、「たわみが少なく」、「軽量」です。
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ST.CERA社製カスタムアルミナセラミック真空エンドエフェクター
セラミックは、耐高温性、耐腐食性、耐摩耗性、絶縁性といった特性を備えているため、高温、真空、腐食性ガスといった環境下にある多くの種類の半導体製造装置で長期間使用することができます。
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ST.CERA特注99.5%アルミナセラミックロッド
高純度セラミック粉末から作られ、乾式プレスまたは冷間静水圧プレスによって成形されたセラミックロッドは、高温下で焼結され、その後精密機械加工されます。耐摩耗性、耐腐食性、高硬度、高靭性、低摩擦係数など多くの利点があり、医療機器、精密機械、レーザー、計測機器、検査機器に広く使用されています。酸性およびアルカリ性の条件下で長時間使用でき、最高温度は1600℃まで達します。当社が通常使用するセラミック材料は、ジルコニア、95%～99.9%アルミナ（Al2O3）、窒化ケイ素（Si3N4）、窒化アルミニウム（AlN）などです。
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ST.CERA カスタマイズ 99.5% ジルコニア セラミックロッド セラミックピン
高純度セラミック粉末を原料とし、乾式プレスまたは冷間静水圧プレスによって成形後、高温で焼結し、精密加工を施したセラミック棒です。当社が通常使用するセラミック材料は、ジルコニア、95%～99.9%アルミナ（Al2O3）、窒化ケイ素（Si3N4）、窒化アルミニウム（AlN）などです。
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ST.CERA特注99.5%アルミナセラミック管
セラミックは、耐高温性、耐腐食性、耐摩耗性、絶縁性といった特性を備えているため、高温、真空、腐食性ガスといった環境下にある多くの種類の半導体製造装置で長期間使用することができます。
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ST.CERA社製カスタムジルコニアセラミックチューブ
セラミックは、耐高温性、耐腐食性、耐摩耗性、絶縁性といった特性を備えているため、高温、真空、腐食性ガスといった環境下にある多くの種類の半導体製造装置で長期間使用することができます。
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ST.CERA社製カスタム半導体セラミックブッシング
半導体分野における重要なプロセスはクリーンルームで行う必要があり、特に高温、真空、腐食性ガスといった過酷な環境下で使用されるデバイスの場合はなおさらです。セラミックスは、複雑な物理的・化学的環境下でも高い安定性を維持できます。
