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ST.CERA カスタマイズされた 99.5% アルミナ セラミック部品
セラミック構造部品とは、さまざまな複雑な形状のセラミック部品の総称です。セラミック部品は高純度のセラミック粉末から作られ、乾式プレスまたは冷間静水圧プレスによって成形され、高温で焼結され、その後精密機械加工されます。高温耐性、耐食性、耐摩耗性、絶縁性などの特徴を備え、半導体装置、光通信、レーザー、医療機器、石油、冶金、電子産業などで広く使用されています。
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ST.CERA カスタマイズ ESD セラミックエンドエフェクター
セラミックスは、耐高温性、耐食性、耐摩耗性、絶縁性などの特性を備えており、高温、真空、腐食性ガスなどの環境下で使用される各種半導体製造装置内で長時間使用できます。
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ST.CERA カスタマイズされたアルミナ セラミック グリップ エンド エフェクター
セラミックスは、耐高温性、耐食性、耐磨耗性、絶縁性などの特性を備えており、高温、真空、腐食性ガスなどの環境下での各種半導体製造装置内で長時間使用することができます。
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ST.CERA カスタマイズされたアルミナ セラミック トレイ エンド エフェクター
真空環境下で使用するトレイタイプのセラミック製エンドエフェクター/ハンドリングアームです。
セラミック製エンドエフェクター・ハンドリングアームは金属製に比べ「耐熱性が高く」「たわみが少ない」「軽量」です。
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ST.CERA カスタマイズアルミナセラミック真空エンドエフェクター
セラミックスは、耐高温性、耐食性、耐磨耗性、絶縁性などの特性を備えており、高温、真空、腐食性ガスなどの環境下での各種半導体製造装置内で長時間使用することができます。
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ST.CERA カスタマイズされた 99.5% アルミナ セラミック ローダー アーム
セラミックエンドエフェクター/ハンドリングアームは、ウェーハハンドリングロボットまたは「エンドエフェクター」に取り付けられ、シリコンウェーハをカセットまたはプロセスチャンバーに出し入れするために使用されます。
セラミックスを使用する利点は、高い曲げ強度によるたわみの軽減、高温への耐性、金属汚染や粒子の除去です。 -
ST.CERA カスタマイズされた 99.5% アルミナ セラミック チューブ
セラミックスは、耐高温性、耐食性、耐磨耗性、絶縁性などの特性を備えており、高温、真空、腐食性ガスなどの環境下での各種半導体製造装置内で長時間使用することができます。
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ST.CERA カスタマイズされた 99.5% アルミナセラミックロッド
高純度のセラミック粉末から作られたセラミックロッドは、乾式プレスまたは冷間静水圧プレスによって成形され、高温で焼結され、その後精密機械加工されます。耐摩耗性、耐食性、高硬度、高靭性、低摩擦係数などの多くの利点を備えており、医療機器、精密機械、レーザー、計測、検査機器などに広く使用されています。酸やアルカリの条件下でも長時間使用でき、最高温度は1600℃まで耐えられます。弊社が通常使用するセラミック材料は、ジルコニア、95%～99.9%アルミナ(Al2O3)、窒化ケイ素(Si3N4)、窒化アルミニウム(AlN)などです。
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ST.CERA カスタム半導体セラミックブッシュ
半導体分野の重要なプロセスは、特に高温、真空、腐食性ガスなどの環境下で使用されるデバイスの場合、クリーンルームで行われる必要があります。セラミックスは複雑な物理的・化学的環境においても高い安定性を維持します。
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ST.CERA カスタマイズ半導体セラミックフォーカスリング
半導体分野の重要なプロセスは、特に高温、真空、腐食性ガスなどの環境下で使用されるデバイスの場合、クリーンルームで行われる必要があります。セラミックスは複雑な物理的・化学的環境においても高い安定性を維持します。
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ST.CERA カスタマイズされた AlN セラミック プレート セラミック部品
セラミック構造部品とは、さまざまな複雑な形状のセラミック部品の総称です。セラミック部品は高純度のセラミック粉末から作られ、乾式プレスまたは冷間静水圧プレスによって成形され、高温で焼結され、その後精密機械加工されます。半導体装置、光通信、レーザー、医療機器、石油、冶金、電子産業などで広く使用されています。
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ST.CERA カスタマイズされた 99.5% アルミナ セラミック部品
セラミック構造部品とは、さまざまな複雑な形状のセラミック部品の総称です。高温耐性、耐食性、耐摩耗性、絶縁性などの特徴を備え、半導体装置、光通信、レーザー、医療機器、石油、冶金、電子産業などで広く使用されています。
