反りのあるウェハーを扱うための多孔質セラミック製真空チャック
St.Ceraの多孔質セラミックチャックは、高純度アルミナを原料とし、30～45%の均一な開放気孔率と10～100μmの細孔径を有しています。従来の溝付きチャックとは異なり、多孔質表面によりウェーハ裏面全体に均一な真空が供給されるため、反りや薄さ、または分離したウェーハでも、端が浮き上がったり破損したりすることなく効果的に保持できます。また、穏やかな真空（絞り弁で調整可能）により、裏面へのマーキングも防止します。
仕様（99.6％アルミニウムに基づく）2O₃):
| 財産 | 価値 |
| 気孔率 | 30～45％ |
| 平均孔径 | 10～100μm（選択可能） |
| 曲げ強度 | ≥250 MPa |
| 平面度（300mm以上） | ≤5 μm |
| 表面仕上げ | 研磨済み（Ra 0.8 μm） |
| 最大真空度 | -80 kPa |
| 動作温度 | 400℃（空気中）、600℃（不活性ガス中） |
| 材料 | 99.6% Al₂O₃、ZrO₂、または SiC |
アプリケーション:
薄型ウェハ（≤50μm）の裏面研削
ダイシング用の歪んだウェハマウント
テープからの個別ダイピックアップ
ガラスパネルの取り扱い
製造と品質：
セラミック粉末に有機造孔剤を混合し、プレス成形、焼結、最終厚さまで研磨する。各チャックは、真空均一性（偏差5%以下）について流量試験を行い、細孔径分布を走査型電子顕微鏡（SEM）で検査する。平面度はレーザー干渉計で測定する。
溝付きチャックに対する利点：
ウェハエッジのマーキングやダイのずれはありません。
反りのあるウェハー（最大500μmの反り）を保持します。
真空穴の詰まりを解消します
薄型基板用の自己水平支持構造
カスタマイズ:
円形または長方形の形状で、最大サイズは600mmです。エッジシーリングリングやゾーン真空仕切りを取り付けることができます。高剛性が求められる場合は、金属裏打ちタイプもご用意しています。
ウェハーのサイズと反りのテスト用にサンプルをご請求ください。
