半導体および産業用途向け高純度アルミナセラミック部品
St.Cera社は、顧客の仕様に合わせて精密加工されたアルミナ（Al₂O₃）セラミック部品を製造しています。純度99.8%の高純度アルミナを使用することで、これらの部品は優れた曲げ強度（361 MPa）、高い硬度（16 GPa）、そして卓越した絶縁耐力（15×10⁶ V/m）を実現しています。半導体製造装置、耐摩耗性アセンブリ、電気絶縁体、高温治具向けに設計されたこの材料は、ほぼゼロの吸水率（0%）と7.2×10⁻⁶/℃の熱膨張係数を備え、過酷な条件下でも寸法安定性を確保します。
仕様（99.8％アルミニウムに基づく）2O₃):
財産 | 価値 |
| 材料 | 99.8%アルミナ（アイボリー） |
| 密度 | 3.93 g/cm³ |
| 曲げ強度 | 361 MPa |
| 破壊靭性 | 3～4 MPa·m¹/² |
| ビッカース硬度 | 16 GPa |
| ヤング率 | 380 GPa |
| 熱伝導率 | 32 W/m·k |
| 熱膨張（25～1000℃） | 7.2×10⁻⁶/℃ |
| 誘電率 | 9.6 |
| 誘電損失角 | 0.0001 |
| 誘電強度 | 15×10⁶ V/m |
| 特定抵抗 | >10¹⁴ Ω·cm |
| 最大動作温度 | 1600℃ |
アプリケーション:
- ・半導体プロセスチャンバーのライナー、ビューポート、ガス分配プレート
- ・耐摩耗性ブッシュ、シールリング、ベアリングボール
- ・高電圧用電気絶縁体および点火プラグ用絶縁体
- ・炉の固定具、ヒーター支持具、および熱電対保護管
製造工程：
静水圧プレス加工 → グリーン加工 → 1600℃での焼結 → CNC精密研削／ラッピング → 超音波洗浄 → 100% CMM寸法検査。複雑な形状、薄肉（0.5mm以上）、厳しい公差（±0.01mmまで）を日常的に実現しています。
品質管理:
ISO 9001:2015認証取得済み。各バッチは、曲げ強度（3点曲げ）、硬度（ビッカース硬度）、絶縁耐力（ASTM D149）、および耐熱衝撃性（25℃から1000℃まで10サイクル）について試験済みです。20倍の顕微鏡観察で、ひび割れや欠けは確認されていません。
金属部品やポリマー部品に対する利点：
- ・ステンレス鋼の3～5倍の硬度（16GPa対約2GPa）
- ・化学的に不活性 ― 酸、アルカリ、ハロゲン（HFを除く）に対して耐性がある
- ・電気絶縁体 >10¹⁴ Ω·cm で、高電圧環境での使用が可能
- ・金属やプラスチックの限界をはるかに超える、最高1600℃までの連続使用が可能
カスタマイズ:
お客様から図面（STEP/IGS形式）をお送りいただければ、迅速な試作（2～3週間）を提供いたします。部品は焼結、研削、ラップ加工、または研磨（Ra ≤0.05 μm）の状態で納品可能です。エッジの丸め加工、座ぐり加工、ねじ穴加工、真空溝加工も承ります。
注：より高い破壊靭性が求められる用途には、ジルコニア（ZrO₂）部品をご検討ください。最高の熱伝導率をお求めの場合は、BeOまたはSi₃N₄製品をご参照ください。上記のデータはすべて、付属のAl₂O₃特性表（純度99.8%）に厳密に準拠しています。
