半導体固定具用高純度アルミナセラミックコア
St.Cera社のアルミナセラミックコアは、純度99.8%の高純度Al₂O₃を精密に成形したもので、優れた絶縁耐力（15×10⁶ V/m）、1600℃までの耐熱性、および荷重下でのクリープ耐性を備えています。これらのコアは、高温プロセス治具、ヒーターベース、プラズマチャンバーライナー、電気絶縁体などの構造部品として使用されています。材料の高い硬度（16 GPa）と低い吸水率（0%）により、過酷な環境下でも長期にわたる信頼性を確保します。
仕様（99.8％アルミニウムに基づく）2O₃):
| 財産 | 価値 |
| 材料 | 99.8%アルミナ（アイボリー） |
| 密度 | 3.93 g/cm³ |
| 曲げ強度 | 361 MPa |
| 破壊靭性 | 3～4 MPa·m¹/² |
| ビッカース硬度 | 16 GPa |
| ヤング率 | 380 GPa |
| 熱伝導率 | 32 W/m·k |
| 熱膨張（25～1000℃） | 7.2×10⁻⁶/℃ |
| 誘電強度 | 15×10⁶ V/m |
| 特定抵抗 | >10¹⁴ Ω·mm²/m |
| 最大動作温度 | 1600℃ |
アプリケーション:
- ・エピタキシャルリアクター用ヒーターコア
- ・プラズマチャンバーのライナーおよびカバープレート
- ・高電圧電気絶縁体
- ・ウェハ搬送ロボット用治具ベース
製造業:
静水圧プレス成形 → グリーン加工 → 1600℃での焼結 → CNC研削による最終寸法（±0.01mmの公差）への仕上げ。各コアはCMMおよび超音波探傷検査によって検査されます。
品質保証：
ISO 9001:2015認証取得済み。表面亀裂の浸透探傷試験、ASTM D149準拠の絶縁耐力試験を実施。
A他のセラミックスに対する利点：
- ・ジルコニアよりも高い絶縁耐力（15 V/m 対 <10×10⁶ V/m）
- ・非プラズマ用途ではSiCよりも低コスト
- ・ハロゲン（HFを除く）に対する優れた耐薬品性
カスタム形状：
円筒、角棒、板、または複雑な形状。最小加工寸法は0.5mm。
カスタムコア設計および熱シミュレーションのサポートについては、当社までお問い合わせください。
