炭化ケイ素（SiC）セラミック製エンドエフェクタ – 高温ウェハハンドリングに対応する高剛性
St.Cera社のSiCセラミックエンドエフェクタは、高純度炭化ケイ素（SiC含有量99.72%、遊離Si 0.05%）を原料とし、S1111バッチ材を使用して製造されています。優れた機械的特性を備え、曲げ強度449 MPa（実測値）、弾性率457 GPa（実測値）、ビッカース硬度25～28 GPa（標準値）を実現しています。低密度（3.10～3.15 g/cm³、標準値）により高い比剛性が得られ、高速ウェハ搬送ロボットに最適です。熱伝導率120～150 W/m・K（標準値）、熱膨張係数4.0～4.5×10⁻⁶/℃（標準値）により、高温処理（無負荷時1600～1700℃まで）においても効果的に放熱し、寸法安定性を維持します。黒/グレーの色と吸水性ゼロにより、クリーンルームでの使用可能です。
仕様（提供されたSiC S1111テストレポートおよび標準値に基づく）):
| 財産 | 価値 |
| 材料 | SiC（SiC 99.72%、遊離Si 0.05%） |
| 色 | ブラック/グレー |
| 密度 | 3.10～3.15 g/cm³ |
| 吸水率 | 0% |
| 曲げ強度 | 449 MPa（平均） |
| 破壊靭性 | 3.12 MPa·m¹/²（平均） |
| 弾性率 | 457 GPa |
| ビッカース硬度 | 25～28 GPa |
| 熱伝導率（25℃） | 120～150 W/m・K |
| CTE（25～1000℃） | 4.0～4.5×10⁻⁶/℃ |
| 最大使用温度（無負荷時） | 1600～1700℃ |
アプリケーション:
● 高温でのウェーハ処理（後アニール、RTP、エピタキシャル成長）
● 高い耐侵食性が求められるプラズマエッチングチャンバー
● 高速搬送ロボット（軽量、高剛性）
製造業:
SiC粉末焼結 → アーム形状および取り付け部の精密CNC研削 → 表面ラッピング → 超音波洗浄。真空用途向けに100%寸法検査およびヘリウムリークテストを実施。
品質管理:
● 長さ、幅、平面度のCMM検査
● バッチごとの曲げ強度試験（試験報告書の基準による）
● 顕微鏡による表面欠陥の目視検査
アルミナや金属に比べて優れている点：
● 弾性率が2倍高い（アルミナの約380 GPaに対し457 GPa） – たわみが少ない
● 熱伝導率が3倍向上 – 放熱速度が向上
● 空気中で1600℃以上の温度に耐える（アルミナは800℃）
● 鋼鉄よりも低密度 – 重量を40%削減
カスタマイズ:
長さ150～450mm、先端形状（エッジグリップ、ベルヌーイ、フラット）、取り付けフランジパターンはOEM図面に準拠。
※上記の機械的データはすべて、提供された試験報告書（バッチS1111）に基づいています。熱特性および硬度値は、このSiCグレードの標準値です。ロット固有の認証については、お問い合わせください。
