真空チャネルを内蔵したアルミナセラミック製エンドエフェクター
St.Ceraのアルミナ製真空エンドエフェクタは、99.8%の高純度アルミナ本体に精密加工された真空チャネルと吸引孔を直接組み込んでいます。この設計により外部真空パッドが不要となり、均一な保持力でウェハを直接ピックアップできます。アルミナの高い曲げ強度（361 MPa）と硬度（16 GPa）により、真空サイクルを繰り返しても長期的な寸法安定性が確保されます。パッド領域全体の平面度は10 μm以内に維持され、ウェハの応力や破損を防ぎます。真空ポートは背面取り付けフランジに配置されているため、OEMロボットアームとの統合が容易です。
仕様(99.8% Al₂O₃に基づく):
| 財産 | 価値 |
| 材料 | 99.8%アルミナ（アイボリー） |
| 密度 | 3.93 g/cm³ |
| 曲げ強度 | 361 MPa |
| ビッカース硬度 | 16 GPa |
| ヤング率 | 380 GPa |
| 熱膨張 | 7.2×10⁻⁶/℃ |
| パッドの平面度 | ≤10 μm |
| 真空チャネル幅 | 0.5～2.0 mm |
| 最大動作温度 | 800℃ |
アプリケーション:
● 薄いまたは反ったウェハーの真空ピックアップ
●エッジグリップなしで直接ウェハーを取り扱う
●太陽電池およびLED基板の転写
製造業:
焼結アルミナブランク → 真空チャネルおよび穴の5軸CNC加工 → 表面研磨 → 超音波洗浄 → ヘリウムリークテスト。各エフェクターは、真空均一性を確認するために100%流量テストを実施しています。
利点：
●外部掃除機パッドなし（粒子発生源を低減）
●均一な保持圧力により、ウェハーへのマーキングを防ぎます
● 化学的に不活性でクリーンルームに対応
