-
ST.CERA カスタマイズ ESD セラミックエンドエフェクター
セラミックスは、耐高温性、耐食性、耐摩耗性、絶縁性などの特性を備えており、高温、真空、腐食性ガスなどの環境下で使用される各種半導体製造装置内で長時間使用できます。
-
ST.CERA カスタマイズされたアルミナ セラミック グリップ エンド エフェクター
セラミックスは、耐高温性、耐食性、耐磨耗性、絶縁性などの特性を備えており、高温、真空、腐食性ガスなどの環境下での各種半導体製造装置内で長時間使用することができます。
-
ST.CERA カスタマイズされたアルミナ セラミック トレイ エンド エフェクター
真空環境下で使用するトレイタイプのセラミック製エンドエフェクター/ハンドリングアームです。
セラミック製エンドエフェクター・ハンドリングアームは金属製に比べ「耐熱性が高く」「たわみが少ない」「軽量」です。
-
ST.CERA カスタマイズアルミナセラミック真空エンドエフェクター
セラミックスは、耐高温性、耐食性、耐磨耗性、絶縁性などの特性を備えており、高温、真空、腐食性ガスなどの環境下での各種半導体製造装置内で長時間使用することができます。
-
ST.CERA カスタマイズされたアルミナ セラミック ベルヌーイ エンド エフェクター
当社はセラミック製エンドエフェクター・ハンドリングアームのトップメーカーとして、その市場ニーズに応える従来にないエンドエフェクター・ハンドリングアームを開発しました。ベルヌーイの原理に基づいたセラミック製のエンドエフェクタ/ハンドリング アームで、周囲との接触を最小限に抑えながら気流によってウェーハを浮上させ、搬送することができます。
