ST.CERA カスタマイズされた 99.5% アルミナ セラミック ローダー アーム
製品詳細
セラミックスは、耐高温性、耐食性、耐磨耗性、絶縁性などの特性を備えており、高温、真空、腐食性ガスなどの環境下での各種半導体製造装置内で長時間使用することができます。
高純度のアルミナ粉末を冷間静水圧プレス、高温焼結、精密仕上げで加工したセラミックエンドエフェクターは、寸法公差±0.001mm、表面仕上げRa0.1、耐熱温度1600℃に達します。
キャビティ付きセラミックエンドエフェクタは、独自のセラミック接合技術により800℃の高温でも動作します。
純度の異なるアルミナセラミックの特徴をご紹介します。
製品パラメータ
株式会社セントセラ
材料データシート
| プロパティ | ユニット | アルミナ(Al2O3) | |||
| 99% Al2O3 | 99.5% Al2O3 | 99.8% Al2O3 | 99.9% Al2O3 | ||
| 色 | — | 白 | 象牙 | 象牙 | 象牙 |
| 密度 | g/cm3 | 3.88 | 3.90 | 3.93 | 3.95 |
| 吸水性 | % | 0 | 0 | 0 | 0 |
| 粒度 | μm | 2~5 | 2~5 | 2~5 | 2~4 |
| 曲げ強度 | MPa | 350 | 360 | 361 | 350 |
| 破壊靱性 | MPa・m1/2 | 3~4 | 3~4 | 3~4 | 3~4 |
| ビッカース硬さ | GPa | 14 | 15.5 | 16 | 16 |
| ヤング弾性率 | GPa | 370 | 370 | 380 | 390 |
| 熱伝導率 | W/m・k | 28 | 32 | 32 | 34 |
| 熱膨張係数 | 10-6/℃ | 7.2 | 7.2 | 7.2 | 7.2 |
| 誘電率 | — | 9.5 | 9.6 | 9.6 | 9.9 |
| 誘電損失角 | — | 0.0001 | 0.0001 | 0.0001 | 0.0001 |
| 絶縁耐力 | V/m | 15×106 | 15×106 | 15×106 | 15×106 |
| 比抵抗 | Ω・mm2/m | ﹥1014 | ﹥1014 | ﹥1014 | ﹥1014 |
生産工程
スプレー造粒→セラミックパウダー→成形→空焼結→粗研削→CNC加工→微研削→寸法検査→洗浄梱包
重要な詳細
原産地: 中国湖南省
材質: アルミナセラミック
HSコード: 85471000
供給能力: 100 個/月
納期: 3～4週間
パッケージ: 段ボール箱、フォーム、カートン
その他：カスタマイズサービスあり
