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ST.CERA カスタマイズされた 99.5% アルミナ セラミック部品
セラミック構造部品とは、さまざまな複雑な形状のセラミック部品の総称です。セラミック部品は高純度のセラミック粉末から作られ、乾式プレスまたは冷間静水圧プレスによって成形され、高温で焼結され、その後精密機械加工されます。高温耐性、耐食性、耐摩耗性、絶縁性などの特徴を備え、半導体装置、光通信、レーザー、医療機器、石油、冶金、電子産業などで広く使用されています。
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ST.CERA カスタマイズされた 99.5% アルミナ セラミック ローダー アーム
セラミックエンドエフェクター/ハンドリングアームは、ウェーハハンドリングロボットまたは「エンドエフェクター」に取り付けられ、シリコンウェーハをカセットまたはプロセスチャンバーに出し入れするために使用されます。
セラミックスを使用する利点は、高い曲げ強度によるたわみの軽減、高温への耐性、金属汚染や粒子の除去です。
